等離子清洗機常用的氣體有氧氣 、氬氣 、氮氣、壓縮空氣 、二氧化碳 、氫氣、四氟化碳等,它是將氣體電離產(chǎn)生等離子體對工件進(jìn)行表面處理,無(wú)論是進(jìn)行清洗還是表面活化,為達到好的處理效果會(huì )選用不同的工藝氣體。
等離子清洗機的表面粗化又稱(chēng)表面刻蝕,其目的是提升材料表面的粗糙度,以增加粘接、印刷、焊接等工藝結合力,經(jīng)處理后的表面張力會(huì )明顯提升?;钚詺怏w所產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度,但氬氣電離后產(chǎn)生的粒子相對較重,氬離子在電場(chǎng)的作用下的動(dòng)能會(huì )明顯高于活性氣體,所以其粗化效果會(huì )更加明顯,在無(wú)機物基材表面粗化工藝中應用廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
在等離子清洗機的活化和清洗工藝中,工藝氣體經(jīng)常被混合使用,以達到更佳的效果。因為氬氣的分子比較大,電離后產(chǎn)生的粒子比較后,在進(jìn)行表面清洗和活化時(shí)通常會(huì )配合活性氣體混合使用,常見(jiàn)的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體,可有效地對有機污染物或有機基材表面進(jìn)行化學(xué)分解,但其粒子相對較小,斷鍵和轟擊能力有限,如加上一定比例的氬氣,那么所產(chǎn)生的等離子體對有機污染物或有機基材表面的斷鍵和分解能力就會(huì )更強,加快清洗和活化的效率。
氬氣與氫氣混合應用在打線(xiàn)和打鍵工藝中,除增加焊盤(pán)粗糙度外,還可以有效去除焊盤(pán)表面的有機污染物,同時(shí)對表面的輕微氧化進(jìn)行還原,在半導體封裝和SMT等行業(yè)中被廣泛應用。
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