技術(shù)文章
Technical articles探頭故障現象、原因及排除方法1、沉積期間厚度讀數大跳變a.不良晶片產(chǎn)生解決方案:更換晶片b.晶片接近其使用壽命解決方案:更換晶片c.晶片支承座表面有雜物解決方案:用酒精或細砂皮清洗支承座d.來(lái)自濺射源的頻率干涉解決方案:檢查接地,儀器遠離濺射源2、沉積期間晶體停振,但晶片壽命未到a.晶片被來(lái)自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊解決方案:鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開(kāi)b.不良晶片解決方案:更換晶片c.晶片支承座內腔表面有雜質(zhì)解決方案:清洗3、晶體在真空中振蕩,單暴露空氣后停振a.晶體接近使...
直流負壓濺射和直流濺射在直流濺射中,帶正電的離子被吸引到接地的、帶負電的濺射靶上,從靶材上濺射出原子,然后這些原子在樣品(也稱(chēng)為襯底)上沉積形成薄膜。通常情況下,濺射靶被接到正極,而樣品端(襯底)被接到負極或接地。然而,有些情況下(如反濺射或偏壓濺射),樣品端會(huì )被接到正極以吸引多余的離子,從而實(shí)現清潔襯底表面或形成離子轟擊確保薄膜和基底的結合強度。這種電源連接方式可以提高薄膜的層內應力,改善其結晶性能,以及提高薄膜沉積效率。這種操作需要一定的注意事項,因為樣品端上高電壓可能會(huì )...
微型探針臺是一種可以在不同溫度下對材料進(jìn)行電學(xué)性能測試的設備,它有多種類(lèi)型和應用,主要用于科學(xué)研究和教育實(shí)驗。微型探針臺的工作原理是通過(guò)探針與樣品接觸,形成電路,然后通過(guò)電學(xué)儀表測量樣品的電阻、電容、電流、電壓等參數,從而分析材料的特性。微型探針臺可以測試不同尺寸和形狀的樣品,例如晶圓、芯片、封裝器件、光電器件、材料片等。微型探針臺是一種高精度、高效率、高靈活性的測試設備,對于推動(dòng)材料科學(xué)和半導體技術(shù)的發(fā)展有重要作用。優(yōu)點(diǎn):體積小,便于搬運和安裝。精度高,能夠對微米級的樣品進(jìn)...
高溫蒸鍍的時(shí)候,靶材和坩堝應該怎么選擇蒸鍍鍍鋁建議客戶(hù)用陶瓷坩堝:用鎢舟的話(huà)容易附著(zhù)上邊且鋁融化后有一定的浸潤會(huì )與鎢舟形成合金鎢舟容易脆裂斷開(kāi),鋁極易氧化可以多抽一會(huì )真空真空度越低效果越好蒸鍍鍍鎳建議客戶(hù)用鎢棒慘繞鎳絲,鎢舟很薄在一定溫度下化合生成合金相加速鎢的斷裂解決方案:用1.5-2mm的鎢棒長(cháng)度95-100中間10mm處繞高純鎳絲(纏繞緊密一些可慘繞2層)
小型蒸鍍儀的工作環(huán)境需要保持極低的氣壓,通常在10-4至10-7帕之間。這種低氣壓環(huán)境能夠有效減少氧氣和水蒸氣對材料表面的反應,從而避免蒸鍍過(guò)程中可能產(chǎn)生的氧化等不良反應。真空系統通常由泵、閥門(mén)、壓力計和真空室等組成。小型蒸鍍儀的使用方法:1.準備工作:先將蒸鍍儀所需的材料和設備準備齊全,如鍍膜材料、基底材料、控制系統等。2.裝載基底:將待鍍膜的基底材料放置在蒸鍍儀的樣品臺上,確?;妆砻娓蓛羟覠o(wú)硬性顆粒。3.準備鍍膜材料:根據實(shí)際需要,選擇合適的鍍膜材料,并將其放置在蒸鍍儀...
等離子清洗機的優(yōu)勢:1:真空度:用皮拉尼原理測量精確到Pa,千帕是用壓力規測試,不是一個(gè)量級的。2:傳感器:用的進(jìn)口的氣體流量傳感器,是質(zhì)量流量計檢測氣體,精確度是通入流量的±1.5%。浮子流量計,是滿(mǎn)量程的4%,而且浮子球是上下浮動(dòng),手碰一下亂跑,真實(shí)效果達不了那么高。4:功率是150W,國內都是統一的。5:2路流量計,質(zhì)量流量計采集更精準,流量控制2個(gè)精密針閥調節,線(xiàn)性調節度較好。6:真空采集皮拉尼原理真空計,測量大氣壓到0.1Pa的絕對真空。7:通過(guò)精準的...
小型濺射儀利用高能離子束轟擊靶材料,使其原子或分子從靶材料上解離,并沉積在基板表面上,形成覆蓋層。通過(guò)調節離子束的能量和強度,可以實(shí)現不同性質(zhì)的薄膜制備。這種技術(shù)被廣泛應用于材料表面的改性和制備高質(zhì)量薄膜材料。主要用于制備薄膜材料,如金屬薄膜、氧化物薄膜等。這些薄膜具有良好的準晶結構和化學(xué)性質(zhì),廣泛應用于光電子、信息技術(shù)、磁學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。在選購小型濺射儀時(shí),可以考慮以下幾個(gè)因素:1.薄膜材料種類(lèi):不同的型號適用于不同種類(lèi)的薄膜材料,如金屬薄膜、氧化物薄膜、半導體材料等。...
怎么判斷哪些東西可以封?1,高溫不熔化。2、高溫下不與石英管產(chǎn)生反應。3、液體沒(méi)辦法抽真空,液體里又氧氣。對封管機場(chǎng)地的要求?氫氧水焊機需要通風(fēng)。石英管封口要預留多長(cháng)?要留50mm-70mm(石英管內如果是熔點(diǎn)低物品,最少70),夾頭伸進(jìn)去要30mm。封管機產(chǎn)品優(yōu)勢:1、每個(gè)設備出廠(chǎng)有經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜撿漏測試確保氣密性2、設備磁流體密封件接觸氣體部分采用陶瓷軸承高成本帶來(lái)的是耐腐蝕(普通軸承易生銹只要腐蝕軸承就會(huì )抱死不轉)3、我們是最早一批研發(fā)生產(chǎn)此產(chǎn)品的供貨商工程師們都有著(zhù)豐富的...