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產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-0904T-R小型真空探針臺高溫熱臺
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小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R主要用于為被測芯片提供一個(gè)高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來(lái)的測試結果誤差。
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R
高溫無(wú)氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現象會(huì )
越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過(guò)度氧化會(huì )導致晶圓電性誤
差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵
抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。晶圓測試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會(huì )有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時(shí)調整探針達到理想位置進(jìn)行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調整探針的位置。
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數
真空腔體 | |
類(lèi)型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 | |
樣品臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
樣品臺尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
樣品臺測溫傳感器 | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類(lèi)型 | 標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類(lèi)型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱（液氮流量線(xiàn)性控制液氮制冷） |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) |
探針 | |
電信號接頭 | 配線(xiàn)轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(cháng)1.2米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針（可定做6探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺 | |
X軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼顯微鏡 | |
顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機 |
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