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News Center鄭科探6寸氣浮手動(dòng)探針臺,全新設計優(yōu)化,新增樣品保護功能(針座平臺不抬升,探針不脫離,氣動(dòng)快速移動(dòng)無(wú)法使用,保護樣品因操作不當造成損傷);顯微鏡龍門(mén)XY平移臺同軸微調,顯著(zhù)弱小平移臺空間體積。
晶圓探針臺是一種半導體測試設備,主要用于測試半導體晶圓上芯片的電學(xué)性能。晶圓探針臺通常由機械部分和電子部分組成。機械部分由一個(gè)精密機械結構、探針、微動(dòng)系統、信號線(xiàn)等組成,用來(lái)精確定位和接觸芯片,保證測試結果的準確性和可靠性。電子部分由信號發(fā)生器、示波器、測量?jì)x等測試設備和控制程序、數據處理等軟件組成,負責信號采集、處理和數據分析。晶圓探針臺的運行原理是先用機械結構精確定位和接觸芯片,在信號發(fā)生器的控制下,向芯片中注入一定的電信號,再通過(guò)示波器、測量?jì)x等測試設備,測量芯片的各種電學(xué)參數,如電阻、電容、電感等,評估芯片的性能和質(zhì)量。
晶圓探針臺在半導體制造和研發(fā)中有著(zhù)非常重要的地位,可以大大提高芯片測試的效率和準確性。不同型號的晶圓探針臺適用于不同的測試需求,從小尺寸、低功耗芯片到高速、高功率芯片等范圍都有涉及。其中一些晶圓探針臺還具備自動(dòng)化控制和多樣化測試能力,可以實(shí)現高精度測試和大規模生產(chǎn)。