真空探針熱臺能方便、準確、快速地找到放置在安裝臺上的樣品上所需要測試點(diǎn)，比如三極管的基區、發(fā)射區等，將探針臺上的探針和測試點(diǎn)可靠接觸，將配套測試儀器上設置的測試條件通過(guò)探針加到被測試管芯上，實(shí)現對管芯參數測試的目的。在半導體芯片的生產(chǎn)和研制過(guò)程中，需要對芯片樣品的各項參數進(jìn)行過(guò)程測試和終端測試，完成測試所需的測試對準設備是探針臺。
真空探針熱臺探針臺希望在上片后無(wú)需人工對準，就能從晶圓的一個(gè)晶粒(一點(diǎn))開(kāi)始檢測，晶圓上片后，探針下方的開(kāi)始位置往往并不是一點(diǎn)；為了讓一點(diǎn)快速的移至探針下方，對平臺的運行軌跡進(jìn)行了調整，螺旋定位法可以以平臺上開(kāi)始位置為中心。
螺旋式步進(jìn)運行，配合鏡頭的圖像識別技術(shù)，一步一識別，逐步擴大范圍，直至在鏡頭視野中找到晶圓中的特殊晶粒(特殊點(diǎn))；由于一點(diǎn)與特殊點(diǎn)的位置相對固定，所以找到了特殊點(diǎn)即找到了一點(diǎn)。螺旋定位法能快速移至探針正下方且長(cháng)時(shí)間運行穩定；此自動(dòng)定位方法不僅節省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了探針臺的工作效率。
在現有技術(shù)中，真空探針熱臺中的安裝臺與探針兩者是相對固定的，在樣品參數測試時(shí)，通過(guò)調節探針座的位置，以調節探針相對于安裝臺的位置，讓探針與樣品的測試點(diǎn)分離或接觸，或者在樣品參數測試時(shí)，通過(guò)驅動(dòng)組件帶動(dòng)支撐件作上下移動(dòng)，實(shí)現支撐件上的探針與安裝臺兩者相對位置的調節，以使探針與樣品的測試點(diǎn)快速分離或接觸，該操作過(guò)程方便，效率高。
更新時(shí)間：2021-05-14
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